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强强联手!z6com官网登录入口正式上线ICMtia团结剖析检.测与手艺相助服务平台

所属分类: 媒体报道

宣布时间: 2020-05-12

提要: 2020年5月11日起,,,,,,,,团结剖析检.测与手艺相助服务平台(以下简称:服务平台)正式在ICMtia(集成电路质料工业手艺立异同盟)官网运行使用。 。。。。 。。

 

 

  2020年5月11日起,,,,,,,,团结剖析检.测与手艺相助服务平台(以下简称:服务平台)正式在ICMtia(集成电路质料工业手艺立异同盟)官网运行使用。 。。。。 。。

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(点击文章下方“阅读原文”直达平台页面)

 

  服务平台是质料同盟牵头,,,,,,,,众多共建单位起劲加入建设的专.业化服务平台,,,,,,,,服务平台着力于网络、宣布同盟成员所属仪器、装备等资源,,,,,,,,以求推动海内半导体行业手艺立异生长。 。。。。 。。

 

 

  z6com官网登录入口作为海内CMP抛光垫领域的龙头企业、质料同盟会员单位,,,,,,,,旗下控股子公司湖北鼎汇微电子质料有限公司对此起劲响应。 。。。。 。。

  湖北鼎汇微电子质料有限公司是海内唯.一全制程CMP抛光垫供应商,,,,,,,,海内唯.一拥有要害浇注工艺手艺的厂家,,,,,,,,拥有国.际化研发和生产团队、世.界级先进入口生产装备,,,,,,,,高标准的无尘生产车间及海内唯.一200mm和300mm CMP Pad 评价实验室,,,,,,,,建成了与国.际一.流厂商同步的自动化CMP抛光垫工业化生产线。 。。。。 。。公司具备了强盛的自主研发、立异和工程工业化能力,,,,,,,,产品有适用于Oxide、W、Cu bulk、以及Barrier上适用的CMP Pad;同时,,,,,,,,公司拥有强盛的客制化能力,,,,,,,,可凭证客户需求定制开发适合其特殊需求的产品。 。。。。 。。

  01

12寸

化学机械研磨机台

AMAT 300 CMP

对12寸晶圆举行化学机械研磨。 。。。。 。。

 

02  

台阶仪

KLA P-7

对8寸/12寸

wafer dishing/erosion

举行检测。 。。。。 。。

 

  03

原子力显微镜

AFM

对8寸/12寸 wafer外貌形貌举行扫描。 。。。。 。。

04  

氧化物膜厚仪

nano spec Ⅱ

对8寸/12寸 oxide wafer厚度举行量测。 。。。。 。。

  05

金属膜厚仪

napson RG-300

对8寸/12寸 copper/tungsten wafer

厚度举行量测。 。。。。 。。

06  

12寸晶圆缺陷扫描机

AMAT 300 SEM review

对12寸晶圆缺陷举行review。 。。。。 。。

  07

12寸晶圆缺陷检测机

KLA 300 SP2

对12寸晶圆举行缺陷检测。 。。。。 。。

08  

8寸

化学机械研磨机台

MAT 200 CMP

对8寸晶圆举行化学机械研磨。 。。。。 。。

 

 

 

 

要害词: 强强联手!z6com官网登录入口正式上线ICMtia团结剖析检.测与手艺相助服务平台

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